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| Date : 2011/05/15, Hit : 816 |
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펨토공정 신규 특허 출원 완료 (총 3건) |
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| 작성자 |
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S.H.Cho |
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| 화일 |
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2011년 5월 12일 3건의 극초단 펨토 미세공정 특허 출원완료 되었습니다.
특허 1.
특허명: 극초단 펄스 레이저를 응용한 고종횡비 미세 형상 가공 장치
출원번호: 2011-0044837
출원일자: 2011-05-12
발명자: 조성학, 박정규 외 4명
특허 2.
특허명: 레이저 가공 기술을 이용한 기판 상 박막의 선택적 제거 장치
출원번호: 2011-0044829
출원일자: 2011-05-12
발명자: 조성학, 박정규
특허 3.
특허명: 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
출원번호: 2011-0044833
출원일자: 2011-05-12
발명자: 조성학, 박정규, 김재구, 황경현
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