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UV Femtosecond Laser
세계최고 고품위 펨토초 레이저 시스템
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Spectra-Physics (USA) |
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| Wavelength |
267nm,395nm,790nm |
| Pulse Width |
90 fs |
| Repetition Rate |
5kHz |
| Energy |
>0.7mJ / pulse |
- 레이저파장: 267nm(DUV), 400nm(UV) (선택가)
- 펄스 폭: < 100 fs (femtosecond,10-15)
- 펄스에너지 : 0.7 mJ/pulse (@5kHz)
- 레이저 파워 : 3.5 W
- 레이저 반복율: 1kHz, 5kHz, 10kHz (선택가능)
- 빔 모드 TEM00
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Femtosecond Laser
세계 최고 고출력 레이저 시스템
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Quantronix
(USA) |
Integra I |
| Wavelength |
790nm |
| Pulse Width |
100 fs |
| Repetition Rate |
1kHz |
| Energy |
3.5mJ / pulse, 3.5 W
세계 최고 펄스당 에너지
(상용화 제품중) |
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Femtosecond Laser
세계 최고수준 disk 펨토초레이저 시스템
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Jenoptik co.
(Germany) |
JenLas D2.fs |
| Wavelength |
1025nm,512nm |
| Pulse Width |
400 fs |
| Repetition Rate |
100kHz-300kHz (가변) |
| Energy |
40uJ / pulse, 4W
세계 최고 산업용 fs레이저
(독일 Jenoptik Co. 무상기증) |
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Femtosecond Laser
세계 최고수준 펨토초레이저 시스템
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AMPLITUDE Systemes Co.
(France) |
s-Pulse HR |
| Wavelength |
1030nm,515nm,343nm |
| Pulse Width |
180 fs |
| Repetition Rate |
100kHz-300kHz (가변) |
| Energy |
70uJ / pulse
세계 최고 산업용 fs레이저 |
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Femtosecond Laser
세계 최고수준 파이버 펨토초레이저 시스템
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AMPLITUDE Systemes Co.
(France) |
Satsuma |
| Wavelength |
1030nm,515nm,343nm |
| Pulse Width |
300 fs - 30 ps |
| Repetition Rate |
100kHz-300kHz (가변) |
| Energy |
30 uJ / pulse
세계 최고 산업용 fs레이저
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Femtosecond Fiber Laser
세계 최고수준 파이버 펨토초레이저 시스템
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AMPLITUDE Systemes Co.
(France) |
Satsuma (Air cooled)
(디스플레이 양산라인 적용모델) |
| Wavelength |
주요 Spec. 비공개 |
| Pulse Width |
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| Repetition Rate |
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| Energy |
세계 최고 산업용 All Fiber fs레이저
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Femtosecond Laser
세계 최고수준 고출력 펨토초레이저 시스템
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Light Conversion Co.
(Lithuania) |
Pharos SP (Full Options)
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| Wavelength |
주요 Spec. 비공개 (IR,VIS,UV) |
| Pulse Width |
190fs - 10 ps |
| Repetition Rate |
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| Energy |
> 1mJ/pulse
(Lightconversion사 무상기증)
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High-Power UV Picosecond Laser
고출력 자외선 피코초 레이저
(InnoSlab 방식)
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| Edgewave (Germany) |
MXp50-3-GM |
| Wavelength |
355 nm |
| Pulse Width |
10 ps |
| Repetition Rate |
1Hz-100kHz (가변) |
| Energy |
80 uJ / pulse
(독일 Edgewave사 무상기증)
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50W 300fs Femtosecond Fiber Laser
세계 최고수준 파이버 펨토초레이저 시스템
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AMPLITUDE Systemes Co.
(France) |
Satsuma HP3
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| Wavelength |
1030nm |
| Pulse Width |
300fs |
| Repetition Rate |
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| Energy |
최단펄스 최고출력 All Fiber fs레이저
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아시아 지역 최초 설치 운영 |
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Femtosecond Laser
파이버 펨토초레이저 시스템
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Smart Light (Full Options) |
| Wavelength |
1552, 776, 388nm |
| Pulse Width |
700 fs |
| Repetition Rate |
1Hz-400kHz (가변) |
| Energy |
80 uJ / pulse, 6 W
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All fiber femtosecond laser(ONE Five, Swiss)
All 파이버 펨토초레이저 시스템
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| Origami |
10 XP |
| Wavelength |
1030nm |
| Pulse Width |
311 fs |
| Repetition Rate |
50~1000 kHz |
| Energy |
max. 80 uJ/pulse @ 50 kHz |
<무상제공> |
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All Fiber Pulse Laser
All 파이버 펄스 레이저 시스템
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Jenoptik co.
(Germany) |
JenLas Fiber ns20 Advanced |
| Wavelength |
1060nm |
| Pulse Width |
2ns - CW (펄스폭제어가능) |
| Repetition Rate |
1Hz-400kHz (가변) |
| Energy |
20 W, Single Mode
산업용 All fiber ns 레이저
(Jenoptik co.Germany.제공) |
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Beam delivery system
펨토초 레이저 파이버 딜리버리 시스템
GLOphotonics(France)
Beam delivery system(BDS)
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Physical Properties
Fiber length: 5 m
Output beam quality: M2 < 1.3
Gas/Vacuum connection: KF16
Fiber protection: Metallic monocoil
Min. bend radius: 200 mm
Optical Properties
Wavelength: 1030 nm/ 1064 nm
Attenuation: <50 dB/km
Dispersion @ Working wavelength: 1 ps/nm/km ± 0.5
Transmission band: > 200 nm
Input beam requirement: 2.9 mm ± 0.1
Bend loss @ 20 cm bend radius: < 1 dB
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펨토초 초미세 하이브리드 가공 시스템
(기계연 자체 개발)
UV 펨토초 레이저 탑재
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| Working Area |
travel 300mm X 300mm |
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Repetition 1㎛ |
| 주요 스펙 |
홀 직경 500nm - 50 um
가공정밀도 : 100 nm |
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비열 가공 및 하이브리드 가공 가능. 재료 무의존성
(상세주요스펙: 비공개)
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차세대 디스플레이 리페어 시스템
(기계연+(주)참엔지니어링 공동개발)
펨토초레이저 5파장 동시발진
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적용
대상 |
AMOLED, Flexible Display, 투명디스플레이,차세대 디스플레이 대응 비열 나노 리페어 |
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특징 |
펨토초 대역 DUV,UV,VIS,NIR, IR 파장 동시 발진,조사 가능 (세계 최초)
현재 디스플레이제조사인 국내 S사 양산장비 및 L사 양산장비 보다 High Spec. 일본 Sharp사 양산장비보다 High spec.
(세계 최고 Spec.)
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현존하는 세계최초 최고수준의 차세대 디스플레이용 극초단 리페어 시스템(상세주요스펙: 비공개)
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차세대 디스플레이 리페어 시스템 |
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세계 최초 극초단광자적용 |
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SPEC 비공개 |
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AMOLED, 투명, 플레서블 대응 가능 |
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(세계 최초 개발) |
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멀티 모달 펨토초 레이저
하이브리드 가공광학 모듈
(세계 최초 개발)
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- 90fs NIR, VIS, DUV 3파장 대응
- 빔 쉐이핑 (원, 사각, 베셀빔, 3D, 가우시안, Flat-Top)
- 실시간 가공특성분석 (Ablation 분광스펙트럼)
- 오토 렌즈 리벌브 (초음파 진동자 장착) |
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- 초음파 진동자 하이브리드 모듈 장착 |
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원천특허 4건 보유 |
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OPA (fs 파장가변장치) |
| Wavelength tuning range |
200~2600nm |
| Resolution |
1nm |
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Stage & Scanner for laser machining |
| Stage |
travel 300mm X 300mm |
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Repetition 1㎛ |
| Scanner |
Field size 60mm X 60mm |
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Repetition ±1㎛ |
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산업용 형상 측정 Laser Nano-Micro Scope
Laser confocal microscope |
| company name |
Keyence(JAPAN) |
| Model name |
VK-X1000 |
| Objectives |
5X,10x,20x,50x,100x |
| 측정분해능 |
5nm |
| 현존 최상위모델 |
< 2019 현존 세계 최고 Spec. > |
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Fluorescence microscope |
| Carl Zeiss |
Axio Observer |
| Objectives |
10,20x,40x,60x,80x,100x |
| Imaging |
AxioCam/AxioVision |
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Optical microscope |
| Nikon |
Model No. MM-60 |
| Objectives |
5x, 10x, 20x, 50x, 100x |
| Imaging |
CCD (500M pixel) |
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SEM (Scanning Electron Microscope) |
| TOPCON |
SM-350 |
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AFM (Atom Force Microscope) |
| NT-MDT |
NTEGRA PLATFORM |
| Res. : |
0.2 nm |
| With Dr.Chang |
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| Functions |
AFM,STM,Spectroscopy. Litography, Many-Pass Techniques. |
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Optical Confocal Microscope |
| Carl Zeiss |
LSM 5 PASCAL |
| Objectives |
10x, 20x, 50x, 100x |
| Imaging |
CCD (500M pixel) |
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UV-Vis Spectrophotometer |
| Shimadzu |
UV-2450 |
| Measurement range |
190~900nm |
| Resolution |
0.1nm |
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Incubator / Clean bench |
| Incubator |
Thermo Forma, 311 Series |
| Clean bench |
n-Biotek, NB-WS2L |
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Beam Profiler |
| DATARAY |
S-WCD-UHR-UV |
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Incl. Filters |
| Wavelength |
190-1150nm |
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50 fs pulse compressor |
| n2 Photonics |
50 fs |
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High-Resolution Spectrometer |
| OceanOptics |
HR2000CG-UV-NIR |
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